工業磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識
工業磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識,高隆磷化工專業生產五氧化二磷和多聚磷酸等產品，電子級磷酸屬于電子化學品檢測種類之一。在電子工業中，尤其是超大規模集成電路、大屏幕液晶顯示屏等微電子工業領域，電子用磷酸可以用于清洗和蝕刻等工藝的加工?？梢哉f說磷酸的純度、質量、指標等都直接關系到電子生產企業的產品成品率、電性能、可靠性，或者是屏幕最后的質量表現。信息來源：m.jlbio.net | 發布時間：2020年09月02日
一、電子級磷酸用途分析
1、用于基片涂膠前的清洗
2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠；
3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、 導體膜蝕刻、 有機材料蝕刻等
1、用高純磷制備電子級磷酸的工藝
2、用高純三氯化磷制備電子級磷酸的工藝
3、用三氯氧磷制備電子級磷酸的工藝
三、電子級磷酸提純工藝
化學沉淀法
有機溶劑萃取法
溶劑沉淀法
結晶法（冷凍結晶法、熔融結晶法）
濃縮凈化法
離子交換法
電滲析法
四、電子級磷酸質量等級
E1為普通電子級磷酸
E2為高純電子級磷酸
五、電子級磷酸檢測標準
GB/T 28159-2011 電子級磷酸
六、電子級磷酸檢測項目
1、磷酸質量分數檢測
2、易氧化物質量分數檢測
3、陰離子檢測項目：硝酸鹽含量、硫酸鹽含量、氯化物含量
4、金屬離子元素檢測項目：鋁、硼、銻、砷、鋇、鎘、鈣、鈷、銅、鎵、金、鐵、鉛、鋰、鎂、錳、家、鎳、銀、鈉、錫、鍶、鈦、鋅
5、顆粒的測定
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